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等离子清洗机
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LCD等离子清洗机

等离子体是由带正、负电荷的离子和电子, 也可能还有一些中性的原子和分子所组成的集合体。在宏观上一般呈电中性。等离子体可以是固态、液态和气态。电离气体就是一种气态等离子体。等离子体中的基本过程是在电场和磁场的作用下, 各种带电粒子间相互作用, 引起多种效应。

等离子清洗技术是等离子体特殊性质的具体应用。等离子清洗机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场, 用真空泵实现一定的真空度, 随着气体愈来愈稀薄, 分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长, 受电场作用, 它们发生碰撞而形成等离子体, 这些离子的活性很高, 其能量足以破坏几乎所有的化学键, 在任何暴露的表面引起化学反应。

LCD行业中的清洗方式

LCD的COG组装过程, 是在ITO玻璃上贴装IC裸片, 利用金球的变形与压缩来使ITO玻璃上的引脚与IC芯片上的引脚导通。由于精细线路不断发展的技术,精细线路电子产品的生产与组装, 对ITO玻璃的表面清洁度要求非常高, 要求产品的可焊接性能好、焊接牢固、不能有任何有机与无机的物质残留在ITO玻璃上来阻止ITO电极端子与IC BUMP的导通性, 因此, 对ITO玻璃的清洁显得非常重要。在目前的ITO玻璃清洁工艺中, 大家都在尝试利用各种清洗剂 (酒精清洗、棉签+柠檬水清洗、超声波清洗) 进行清洗, 但由于清洗剂的引入, 会导致因清洗剂的引入而带来其他的相关问题, 因此, 探索新的清洗方法成为各厂家的努力方向。通过逐步的试验, 利用等离子清洗机来对ITO玻璃进行表面清洁, 是比较有效的清洁方法。

在对LCD液晶玻璃进行的等离子清洗中, 使用的活化气体是氧的等离子体, 它能除去油性污垢和有机污染物粒子, 因为氧等离子体可将有机物氧化并形成气体排出。通过洗净工艺后的电极端子与显示器, 增强了偏光板粘贴的成品率, 并且电极端与导电膜间的粘附性也大大改善, 从而改善了产品的质量及其稳定性。

LCD工艺水平飞速发展, LCD制造技术极限不断受到挑战并发展, 已成为代表先进制造技术的前沿技术。在清洗行业对清洗的要求也越来越高, 常规清洗已经不能满足要求, 在军用技术以及半导体行业中尤其如此。

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