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等离子清洗机
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澳门十大正规网站 新葡新京正规平台 等离子刻蚀机 6~8英寸标准型刻蚀机 15L晶圆刻蚀机

15L晶圆刻蚀机

产品型号:TS-PL15MA

产品概况: 晶圆刻蚀

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晶圆刻蚀机高配版:TS-PL15MA/P

1.真空腔规格: 材质316不锈钢 L270mm*W280mm*H200mm
2.电极:平板气浴电极,材质6061-T6铝合金
功率电极:1
接地电极:1
3. 电极尺寸:230mm *230mm(最大可处理产品尺寸,可处理8寸晶圆)
4. 频率:13.56MHz
5. 功率:0-300W连续可调,可在设备运行中随时调整参数。
6. 气体控制:MFC质量流量计, 0-500ml   2路气体
7. 真空度测量仪器: 2色显示式高精度数字式压力开关(SMC)
8. 控制方式:7寸工业控制触摸屏,全手动控制和全自动控制两种控制方式
9. 控制App功能:界面显示实时工作状态
10.设备规格尺寸:长600mm 宽600mm 高700mm
11.电极板配置:配备3个卡槽位(接地电极),极板间距离可调整,可按需求调整极板位置


晶圆刻蚀机标配版:TS-PL15MA

1.真空腔规格: 材质316不锈钢 L270mm*W280mm*H200mm
2.电极:平板气浴电极,材质6061-T6铝合金
功率电极:1
接地电极:1
3. 电极尺寸:230mm *230mm(最大可处理产品尺寸,可处理8寸晶圆)
4. 频率:13.56MHz
5. 功率:0-300W连续可调,可在设备运行中随时调整参数。
6. 气体控制:精密针阀式浮子流量计, 0-1000ml   2路气体
7. 真空度测量仪器: 2色显示式高精度数字式压力开关(SMC)
8. 控制方式:4.3寸工业控制触摸屏,全手动控制和全自动控制两种控制方式
9. 控制App功能:界面显示实时工作状态
10.设备规格尺寸:长600mm*宽600mm*高700mm
11.电极板配置:配备3个卡槽位(接地电极),极板间距离可调整,可按需求调整极板位置

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